半導體制造領域用KAYDON薄壁軸承

KAYDON薄壁軸承來自 Carter 的產品被廣泛應用于整個半導體制造領域。在這個自動化程度很高的高科技行業中，KAYDON將重量輕、尺寸小和極高的精度能力相結合，使其纖薄的薄型軸承成為幾乎所有半導體制造工藝中的流行選擇。從晶圓探針到定位器和拾取/放置機器人再到真空沉積系統，只要精密設備需要移動或旋轉，Carter 提供的KAYDON工程薄截面軸承解決方案可以滿足這些應用的需求。

KAYDON用于半導體制造的薄壁軸承產品組合可現貨供應或完全定制，以**限度地提高性能并**限度地減少半導體制造操作中的摩擦、污染、腐蝕、脫氣和磨損。專業的卡特軸承工程師在半導體制造機械和工藝的特定設計需求方面經驗豐富，可以就高真空（10 -8 至 10 -12 ）操作的**材料和潤滑劑提供建議 Torr）和局部溫度高于 250°C。他們還可以就如何減少微粒的產生以及在腐蝕性化學環境中使用的薄截面軸承的公差提供建議。在一些專門的半導體制造應用中，KAYDON混合軸承提供了改進的扭矩特性，還可以延長軸承在邊緣潤滑應用中的服務。我們的行業經驗豐富的工程師也可以就此提供建議。

KAYDON薄截面軸承是空間狹小且重量減輕很重要的高速、平穩扭矩應用的理想解決方案。如有需要，軸承可以具有一個共同的滾道，兩個軸承路徑同時磨削并一起“跳動”，這種設計有助于消除可能由軸向跳動變化引起的任何潛在額外扭矩。同樣，卡特專家工程師可以就此提出建議。Carter KAYDON系列中的其他產品提供單個外滾道和單個內滾道。這有助于提供優化的扭矩性能當薄截面、角接觸 KAYDON軸承成對或堆疊時，安裝過程中是否會出現不對中（或方向錯誤） 。

KAYDON薄壁軸承用于半導體制造應用的一個關鍵設計優勢是可以為軸承指定密封（或屏蔽），而無需增加所需空間。Carter 專業的半導體行業工程師將就可在大氣環境中使用的密封件或應考慮用于真空或其他潔凈室環境的防護罩提出建議。設計人員應注意，由于防護罩和內圈之間的接觸為零，因此在使用KAYDON薄型軸承時，不會產生扭矩損失、不會產生顆粒、不會產生熱量或性能下降。

經驗豐富的卡特半導體機械設計精密軸承團隊位于牛津附近，處于以泰晤士河谷為中心的以賽車運動、核能、醫療、國防和航空航天工業為中心的高科技集群中。Carter 的專家員工都是訓練有素的工程師，他們為客戶提供獨特的經驗、能力和專業知識。至關重要的是，他們還可以讓客戶訪問 Carter 的研發部門，提供我們認為是英國**進的軸承模擬軟件，以幫助為高科技、要求苛刻的半導體制造機械選擇和/或設計理想的軸承和應用。
KAYDON薄壁軸承的典型半導體制造應用：
大氣和真空轉移
CVD系統
切割設備
貼片機
點膠
蝕刻系統
檢測設備
研磨設備
機械手
測量系統
機械拋光機
機械拋光機
聲波清洗系統
光刻
拾取和放置機器人
定位器
探測站
機器人